參考價格
面議型號
LHC-20品牌
力信達產地
江西贛州樣本
暫無溫控精度:
±5最高溫度:
1050額定溫度:
800非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
鐵鉻鋁絲燒結氣氛:
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一、設備簡介
碳基前驅體添加到流化床沉積爐內,通入高溫氣體,硅烷高溫裂解,沉積在多孔碳的表面,得到包覆改性物料,相比傳統CVD爐氣固相接觸充分,包覆硅時包覆層比傳統工藝更均勻,反應區的溫度控制均勻,溫度精度一致性更好。
二、技術參數
1. 載氣:N2、H2、Ar
2. 反應氣體:CH4、C2H2、C3H6、SiH4等
3. 每批處理量: 10kg≤Q≤150kg
4. 操作溫度: ≤800℃
5. 操作壓力: ≤10Kpa
6. 卸料溫度: ≤200℃
7. 氧指數: ≤50ppm
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