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CMP化學機械拋光清洗機
CMP化學機械拋光清洗機

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型號

CMP化學機械拋光清洗機

品牌

江蘇聲達

產地

江蘇

樣本

暫無
聲達半導體設備(江蘇)有限公司

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(Applicable parts)
6"*1花籃,8"*1 pc花籃
6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette

批量產能:
(Capacity)

1 batch/10min
工藝流程:
(Procedure flow)
上料(手動)→超聲藥劑槽→QRD槽→超聲堿洗槽→QDR槽→HF槽→QDR槽→下料(手動)
Load(Manual)→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QRD Tank→Ultrasonic Cleaning Agent Tank→QDR Tank→HF Tank →QDR Tank →Unload(Manual)
主要材料:
(Major material)
金屬骨架SUS304+PP乳白板,槽體采用PPN+SUS316
(Metal frame SUS 304,Ice-Cream PP board,the tank uses PPN+SUS316)


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10分

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10分
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