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ED-1500D高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備品牌
澤鴻半導(dǎo)體產(chǎn)地
江蘇樣本
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設(shè)備概述
批次生產(chǎn)型高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，用于在基板表面沉積各種金屬薄膜(Ti\Ni\Ag\Cr\A|等)滿足 2-12inch Wafer 生產(chǎn)需求，適合大批量金屬沉積工藝或者 Lift off 工藝。
技術(shù)特點(diǎn)
雙冷泵配置，快速高效排氣，超大腔體設(shè)計(jì)，大產(chǎn)能優(yōu)勢(shì)，低材料消耗，低成本生產(chǎn)。
暫無數(shù)據(jù)！
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