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所謂光掩膜是微電子制造領域中光刻工藝所使用的圖形母版，是由不透光的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形（Mask Pattern），并通過曝光將圖形轉印到產品基板之上。
掩模版的主要應用于以下領域：
IC（Integrated Circuit，集成電路）
尤其是LSI（Large Scale IC，大規模集成電路）包括Wafer制程及IC Bumping等
FPD（Flat Panel Display，平板顯示器）包括PDP、LCD、LED、OLED等
PCB（Printed Circuit Boards，印刷電路板）
MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微機電系統）
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