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安徽貝意克設備技術有限公司
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一、設備組成
這是一款組合管式CVD設備。該設備主要由多路供氣系統、三溫區加熱爐、低真空系統、以及智能控壓組件組成。
1、開啟式加熱爐：
三溫區加熱爐使用輕質氧化鋁纖維材質，K型熱電偶測溫搭配優質電阻絲為加熱原件，內部溫場均勻。
2、多路供氣系統
質量流量計可按照程序設定，對多路氣體進行單獨或者混合。操作方便，控制精確。
3、智能控壓組件
通過真空計實時監測管內壓力，PLC根據設定壓力大小調節閥開啟大小，以控制管內壓力穩定。
4、低真空系統
配備進口機械泵，進口真空計，質量可靠。
二、技術參數
**溫度 | 1200℃ |
持續工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
加熱總功率 | ≤8KW |
加熱區尺寸 | 300+300+300mm |
設備主體尺寸（長*寬*高） | 2000*700*1300mm |
設備重量 | 約150KG |
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