產(chǎn)品應(yīng)用:
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
產(chǎn)品組成:
PECVD系統(tǒng)配置:
1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐
2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。
3.預(yù)加熱開啟式管式電爐
4.等離子射頻電源
5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)
產(chǎn)品特點(diǎn):
生長(zhǎng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡(jiǎn)單。
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天津中環(huán)電爐股份有限公司簡(jiǎn)稱中環(huán)電爐,始于1993年,以“為用戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品”為使命,致力于成為材料燒結(jié)測(cè)試系統(tǒng)專業(yè)生產(chǎn)商。(致力于成為材料燒結(jié)測(cè)試系統(tǒng)解決方案專家)中環(huán)電爐集研發(fā)、制造、營(yíng)銷能力于一身,以實(shí)驗(yàn)室電爐和熱分析系統(tǒng)兩大產(chǎn)品線為核心,已擁有實(shí)驗(yàn)室電加熱類產(chǎn)品21大系列280余種, 熱分析類產(chǎn)品可視化高溫形變分析儀和高溫接觸角測(cè)試儀等,**達(dá)到40多項(xiàng),并以每年10余項(xiàng)的數(shù)量遞增,在國(guó)家級(jí)科研院所,知名高校和重點(diǎn)領(lǐng)域企業(yè)擁有上萬(wàn)用戶,公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于金屬
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