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位于海淀區(qū)中關(guān)村的“硬科技”企業(yè)中科科儀公司，積極落實(shí)“新十條”聯(lián)防聯(lián)控機(jī)制，加速樹立“每個(gè)人都是自己健康的第一責(zé)任人”的科學(xué)防控意識(shí)，適時(shí)調(diào)整疫情防控應(yīng)對(duì)預(yù)案，全面復(fù)工復(fù)產(chǎn)，助推國(guó)產(chǎn)高端科學(xué)儀器裝備與核心零部件產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

記者在中科科儀的辦公現(xiàn)場(chǎng)看到，研發(fā)和生產(chǎn)人員正繁忙有序地進(jìn)行著半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵的開發(fā)測(cè)試和掃描電鏡的裝配調(diào)試，加快研發(fā)和生產(chǎn)節(jié)奏，有力有序，復(fù)工復(fù)產(chǎn)，穩(wěn)產(chǎn)滿產(chǎn)。據(jù)悉，“新十條”政策出臺(tái)后，中科科儀符合條件的人員已經(jīng)全部到崗，達(dá)產(chǎn)率達(dá)100%，各項(xiàng)經(jīng)營(yíng)活動(dòng)正常開展。

測(cè)試有序進(jìn)行

記者來到中科科儀總部五層的真空技術(shù)研發(fā)中心，看到研發(fā)人員正在加緊進(jìn)行半導(dǎo)體行業(yè)專用磁懸浮分子泵最后的測(cè)試，工藝成熟后，產(chǎn)品將轉(zhuǎn)入分子泵生產(chǎn)線進(jìn)行大批量生產(chǎn)。

“航空航天、半導(dǎo)體制造、國(guó)防科技、科研儀器、大科學(xué)工程……凡是需要超高真空環(huán)境的行業(yè)，都需要用到分子泵，是科學(xué)儀器、前沿科學(xué)裝置和產(chǎn)業(yè)裝備等不可或缺的核心零部件，而這里正在測(cè)試的磁懸浮分子泵是半導(dǎo)體前道工藝裝備必不可少的核心零部件。”中科科儀的工作人員告訴記者。

據(jù)悉，中科科儀研制出的磁懸浮分子泵，已經(jīng)批量應(yīng)用于半導(dǎo)體前道工藝裝備，為解決我國(guó)科學(xué)儀器與高端裝備核心零部件受制于人的“卡脖子”問題不斷努力。

調(diào)試正常開展

隨后，記者又來到掃描電鏡的調(diào)試區(qū)域，只見一臺(tái)臺(tái)掃描電鏡正在總調(diào)人員面前進(jìn)行最后的整機(jī)調(diào)試，準(zhǔn)備將發(fā)往全國(guó)各地的客戶現(xiàn)場(chǎng)。中科科儀的工作人員表示，掃描電鏡被列為國(guó)家三十五項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)之一，也被稱為科學(xué)界的“納米之眼”。借助掃描電子顯微鏡，就可以觀察到納米級(jí)尺度，觀測(cè)到病毒、半導(dǎo)體器件的納米結(jié)構(gòu)等，幫助人類解決微米至納米尺度的微觀形貌觀測(cè)以及微區(qū)成分分析問題，成為前沿科學(xué)研究和高端產(chǎn)業(yè)的必備工具，在助力高端產(chǎn)業(yè)發(fā)展方面也發(fā)揮著不可或缺的作用。

“它不僅廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、航天航空等尖端科學(xué)研究，也在新能源、新材料等諸多行業(yè)的工藝環(huán)節(jié)以及環(huán)境保護(hù)、司法鑒定等領(lǐng)域批量應(yīng)用，為我國(guó)高端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展發(fā)揮了重要作用。尤其是在半導(dǎo)體行業(yè)的器件檢測(cè)和晶圓檢測(cè)等制造環(huán)節(jié)，均實(shí)現(xiàn)批量應(yīng)用，助力我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主可控。”中科科儀工作人員告訴記者。

保障訂單供應(yīng)

疫情之下，面對(duì)歷史新高的科學(xué)儀器和核心零部件訂單需求，企業(yè)的創(chuàng)新研發(fā)與批量生產(chǎn)都面臨重重挑戰(zhàn)。記者了解到，在之前的新一代產(chǎn)品磁懸浮分子泵的研制過程中，為早日完成研制和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)交付，中科科儀研發(fā)技術(shù)與生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)每天堅(jiān)持線上開展項(xiàng)目工作會(huì)議，留駐公司的技術(shù)人員連續(xù)數(shù)天加班到深夜，全力克服疫情影響，確保交付成果達(dá)到最佳狀態(tài)，最終在疫情期間完成了磁懸浮分子泵的研制和產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)任務(wù)。

“當(dāng)前，我們研制的磁懸浮分子泵在刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體前道工藝核心制程中已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代，進(jìn)入國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體裝備頭部企業(yè)，并在光伏、鋰電等新能源行業(yè)實(shí)現(xiàn)大批量應(yīng)用，以高性價(jià)比和供應(yīng)優(yōu)勢(shì)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代，助力國(guó)家雙碳經(jīng)濟(jì)發(fā)展。”中科科儀相關(guān)業(yè)務(wù)負(fù)責(zé)人表示。