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開局即奔跑，實(shí)干爭(zhēng)春早。作為轄區(qū)內(nèi)“硬科技”企業(yè)，中科科儀緊密圍繞“搶占科技制高點(diǎn)”的總目標(biāo)、總?cè)蝿?wù)、總要求，依靠關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新，研制出多項(xiàng)國(guó)內(nèi)“首臺(tái)套”產(chǎn)品，打破國(guó)外壟斷，解決了一批高端科學(xué)儀器裝備與核心零部件關(guān)鍵領(lǐng)域“卡脖子”“空心化”問題，為高質(zhì)量發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

日前，記者走進(jìn)北京中科科儀股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中科科儀”）看到，企業(yè)內(nèi)各個(gè)團(tuán)隊(duì)鉚足干勁，全力投入到研發(fā)工作之中，奮力沖刺“開門紅”。

記者走進(jìn)中科科儀真空技術(shù)實(shí)驗(yàn)室看到，研發(fā)中心的工程師們正在全方位進(jìn)行半導(dǎo)體前道工藝專用磁懸浮分子泵的各項(xiàng)性能測(cè)試，進(jìn)一步擴(kuò)大半導(dǎo)體裝備“心臟部件”——磁懸浮分子泵的國(guó)產(chǎn)化水平，為我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控貢獻(xiàn)力量。

中科科儀 真空技術(shù)工程 許鵬：磁懸浮分子泵是集成電路關(guān)鍵制造裝備的核心部件，但是在集成電路裝備領(lǐng)域長(zhǎng)期受國(guó)外壟斷，嚴(yán)重影響了我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的安全，磁懸浮分子泵產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化已經(jīng)成為制約我國(guó)集成電路制造裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”問題。

為了破解這一關(guān)鍵“卡脖子”難題，中科科儀真空技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)深耕細(xì)作，依托在分子泵領(lǐng)域近50年的核心技術(shù)積累和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)應(yīng)用，成功開發(fā)出半導(dǎo)體刻蝕和離子注入專用全口徑、全系列磁懸浮分子泵。

中科科儀 真空技術(shù)工程 許鵬：我們的磁懸浮分子泵完成了高壓強(qiáng)磁屏蔽、大承載力、智能化磁懸浮控制、耐腐蝕表面處理和防沉積等數(shù)十種核心技術(shù)攻關(guān)，目前產(chǎn)品的性能指標(biāo)與穩(wěn)定性都已經(jīng)達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。

為了進(jìn)一步精進(jìn)產(chǎn)品，新春伊始，真空技術(shù)研發(fā)中心的工程師已經(jīng)緊鑼密鼓投入到定制化新產(chǎn)品研發(fā)、性能測(cè)試和產(chǎn)品應(yīng)用技術(shù)支持工作中。

中科科儀 真空技術(shù)研發(fā)中心主任——宋海燕：我們將持續(xù)深耕半導(dǎo)體裝備需求，明確技術(shù)攻關(guān)方向，不斷提升產(chǎn)品性能，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)對(duì)國(guó)際競(jìng)品的全面替代，以更新、更優(yōu)、更智能、更可靠的產(chǎn)品，搶占科技制高點(diǎn)，解決行業(yè)發(fā)展瓶頸問題，推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)穩(wěn)步發(fā)展。”

隨后，記者來到中科科儀掃描電子顯微鏡的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，看到中科科儀的總體調(diào)試工程師們正在對(duì)一臺(tái)臺(tái)掃描電子顯微鏡進(jìn)行最后的集成調(diào)試。生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的另一側(cè)，已經(jīng)檢驗(yàn)合格的掃描電子顯微鏡正在進(jìn)行專業(yè)的包裝，隨后將發(fā)到客戶現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行后續(xù)安裝調(diào)試驗(yàn)收。

中科科儀 掃描電鏡生產(chǎn)負(fù)責(zé)人——李文龍：掃描電子顯微鏡被列為國(guó)家三十五項(xiàng)“卡脖子”技術(shù)之一，也被稱為科學(xué)界的“納米之眼”，主要應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域。作為高端通用大型科學(xué)儀器，在納米量級(jí)觀測(cè)設(shè)備中，掃描電子顯微鏡與納米科技、分子生物學(xué)、半導(dǎo)體制造檢測(cè)技術(shù)等行業(yè)相互促進(jìn)發(fā)展。當(dāng)前，我們的產(chǎn)品在市場(chǎng)中已經(jīng)具備與國(guó)外品牌直面競(jìng)爭(zhēng)的能力。作為國(guó)產(chǎn)電鏡力量，我們不斷為我國(guó)科學(xué)家構(gòu)建創(chuàng)新研究平臺(tái)，努力為實(shí)現(xiàn)高水平科技自立自強(qiáng)、為加快創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展提供強(qiáng)有力的支撐。

此外，作為科學(xué)儀器產(chǎn)業(yè)鏈鏈主企業(yè)，中科科儀不僅聚焦自身“科創(chuàng)實(shí)力”的增強(qiáng)，同時(shí)堅(jiān)持系統(tǒng)觀念、問題導(dǎo)向，全力增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈上下游企業(yè)的自主可控能力。記者在中科科儀園區(qū)內(nèi)看到，園區(qū)內(nèi)除了中科科儀，還有北京中科科美科技股份有限公司、北京真空學(xué)會(huì)和1家集成電路全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。

中科科儀 園區(qū)開發(fā)管理部經(jīng)理助理——畢思思：為進(jìn)一步促進(jìn)科技創(chuàng)新，我們?cè)谥锌瓶苾x的園區(qū)內(nèi)，積極圍繞創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、人才鏈等進(jìn)行資源整合，希望可以吸引優(yōu)質(zhì)科技企業(yè)入駐。與此同時(shí)，我們加快形成與科技創(chuàng)新體系、產(chǎn)業(yè)發(fā)展體系密切結(jié)合的創(chuàng)新生態(tài)體系，以期更好為園區(qū)內(nèi)科技企業(yè)提供高品質(zhì)服務(wù)。

中科科儀 黨委副書記、總經(jīng)理——王高峰：中科科儀還將繼續(xù)堅(jiān)持聚焦“硬科技”發(fā)展的定位和要求，秉承國(guó)有企業(yè)的責(zé)任與擔(dān)當(dāng)，服務(wù)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，引領(lǐng)國(guó)內(nèi)尖端科學(xué)儀器設(shè)備及真空技術(shù)進(jìn)步，領(lǐng)航產(chǎn)業(yè)發(fā)展，為全面搶占科技制高點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)高水平自立自強(qiáng)作出更大貢獻(xiàn)。

創(chuàng)新爭(zhēng)先始終是中科科儀最亮眼的底色。作為目前國(guó)內(nèi)極少數(shù)同時(shí)具備電子光學(xué)儀器及超高真空獲得部件研發(fā)制造能力的企業(yè)之一，未來將持續(xù)聚焦高端科學(xué)儀器裝備和核心零部件科技成果轉(zhuǎn)化與規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，在攻克“卡脖子”難題、實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代等方面發(fā)揮重要作用。