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北京歐波同光學技術有限公司

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賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡

賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡
  • 品牌:賽默飛世爾科技
  • 產地:捷克
  • 關注度:6836
  • 型號:Helios 5 DualBeam FIB
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數
  • 電子光學放大:見參數
  • 光學放大:見參數
  • 分辨率:0.6 nm@15 keV、1.0 nm@1 keV
  • 探測器:見參數
  • 加速電壓:500 V – 30 kV
  • 電子槍:見參數
產品介紹

    新一代的賽默飛世爾科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 產品系列業界**的高性能成像和分析性能。它經過精心設計,可滿足材料科學研究人員和工程師對*廣泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是**挑戰性的樣品。


    Helios 5 DualBeam 重新定義了高分辨率成像的標準:**的材料對比度,*快、*簡單、*精確的高質量樣品制備,用于 S/TEM 成像和原子探針斷層掃描(APT)以及**質量的亞表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久經考驗的性能基礎上,新一代的 Helios 5 DualBeam 進行了改進優化,所有這些都旨在確保系統處于手動或自動工作流程的**運行狀態。


半導體行業技術參數:



<


Helios 5 CXHelios 5 HPHelios 5 UXHelios 5 HXHelios 5 FX

樣品制備與 XHR 掃描電鏡成像*終樣品制備 (TEM薄片,APT)STEM 亞納米成像與樣品制備
SEM著陸電壓20 eV~30 keV20 eV~30 keV

分辨率

0.6 nm@15 keV0.6 nm@2 keV


1.0 nm@1 keV0.7 nm@1 keV



1.0 nm@500 eV
STEM分辨率@30 keV0.7 nm0.6 nm0.3 nm
FIB制備過程**材料去除束流65 nA100 nA65 nA
*終**拋光電壓2 kV500 V
TEM樣品制備樣品厚度50 nm15 nm7 nm
自動化
樣品處理行程

110×110

×65 mm

110×110

×65 mm

150×150

×10 mm

100×100

×20 mm

100×100×20mm+5軸(S)TEM Compustage
快速進樣器手動自動手動自動自動+自動插入/提取STEM 樣品桿





材料科學行業技術參數:


<



Helios 5 CXHelios 5 UX
離子光學
具有**的大束流性能的Tomahawk HT 離子鏡筒具有**的大束流和低電壓性能的Phoenix 離子鏡筒
離子束電流范圍1 pA – 100 nA1 pA – 65 nA
加速電圧500 V – 30 kV500 V – 30 kV
**水平視場寬度在束重合點處為0.9 mm在束重合處點為0.7 mm
離子源壽命1,000 小時1,000 小時

兩級差分抽吸兩級差分抽吸
飛行時間校準飛行時間校準
15孔光闌15孔光闌
電子光學Elstar超高分辨率場發射鏡筒Elstar超高分辨率場發射鏡筒
磁浸沒物鏡磁浸沒物鏡
高穩定性肖特基場發射槍提供穩定的高分辨率分析電流高穩定性肖特基場發射槍提供穩定的高分辨率分析電流
電子束分辨率**工作距離下0.6 nm @ 30 kV STEM0.6 nm @ 30 kV STEM
0.6 nm @ 15 kV0.7 nm @ 1 kV
1.0 nm @ 1 kV1.0 nm @ 500 V (ICD)
0.9 nm @ 1 kV 減速模式*
在束流重合點0.6 nm @ 15 kV0.6 nm @ 15 kV
1.5 nm @ 1 kV 減速模式* 及 DBS*1.2 nm @ 1 kV
電子束參數電子束流范圍0.8 pA ~ 176 nA0.8 pA ~ 100 nA
加速電壓范圍200 V ~ 30 kV350 V ~ 30 kV
著陸電壓20 eV ~ 30 keV20 eV ~ 30 keV
**水平視場寬度2.3 mm @ 4 mm WD2.3 mm @ 4 mm WD
探測器Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測器 (TLD-SE, TLD-BSE)
Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測器 (ICD)*
Elstar 鏡筒內 BSE 探測器 (MD)*
樣品室內 Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)
紅外相機
高性能離子轉換和電子探測器 (SE)*
樣品室內 Nav-Cam 導航相機*
可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器 (DBS)*
可伸縮STEM 3+ 探測器*
電子束流測量
樣品臺和樣品樣品臺高度靈活的五軸電動樣品臺壓電陶瓷驅動 XYR 軸的高精度五軸電動工作臺
XY110 mm150 mm
Z65 mm10 mm
R360° (連續)360° (連續)
傾斜-15° ~ +90°-10° ~ +60°
**樣品高度與優中心點間隔 85 mm與優中心點間隔 55 mm
**樣品質量樣品臺任意位置 500 g樣品臺任意位置 500 g
 0° 傾斜時** 5 kg
**樣品尺寸直徑 110 mm可沿樣品臺旋轉時直徑 150 mm可沿樣品臺旋轉時

優中心旋轉和傾斜優中心旋轉和傾斜

    更易于使用:

    Helios 5 對所有經驗水平用戶而言都是*容易使用的 DualBeam 系統。操作人員培訓可以從幾個月縮短到幾天,其系統設計可幫助所有操作人員在各種高級應用程序上實現一致、可重復的結果。


    提高了生產率:

    Helios 5 和 AutoTEM 5 軟件的先進自動化功能,增強的可靠性和穩定性允許無人值守甚至夜間操作,顯著提高樣品制備通量。


    改善時間和結果:
    Helios 5 DualBeam 引入全新精細圖像調節功能 FLASH (閃調)技術。借助 FLASH 技術,您只需在用戶界面中進行簡單的鼠標操作,系統即可“實時”進行消像散、透鏡居中和圖像聚焦。自動調整可以顯著提高通量、數據質量并簡化高質量圖像的采集。平均而言,FLASH 技術可以使獲得優化圖像所需的時間*多縮短 10 倍。


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  • 賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡的工作原理介紹?
  • 賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡的使用方法?
  • 賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡多少錢一臺?
  • 賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡使用的注意事項
  • 賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡的說明書有嗎?
  • 賽默飛(原FEI)Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡的操作規程有嗎?
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工商信息

企業名稱

北京歐波同光學技術有限公司

企業類型

信用代碼

9111 0101 695 015 46XA

法人代表

注冊地址

成立日期

注冊資本

有效期限

經營范圍

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