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在目前半導體工廠的制造過程中，要用到約50種不同種類的特殊氣體，其中不乏易燃易爆和有毒有害氣體，如何確保生產過程中的氣體使用安全，一直是企業廠務系統關注的焦點。

特種氣體分類

半導體制造業所使用的特種氣體主要可分為四個大類。

易燃氣體

易燃氣體，是指在標準壓力下，在與空氣的混合物中按體積占13%或更少時可點燃的氣體或與空氣混合，不論燃燒下限值如何，可燃范圍至少為12個百分點的氣體。

如甲烷在空氣中的爆炸極限約為5%至15%。屬于易燃氣體有氫氣、甲烷、乙烯、乙炔等。

毒性氣體

半導體制造行業中使用的很多氣體是對人體有害有毒的。其中以砷化氫、乙硼烷、三氫化磷等氣體的毒性最大。

這些氣體在工作環境中的允許濃度極微，因此在儲存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控制使用這些氣體。

全氟丁二烯、八氟環戊烯、三氟化氮、氟甲烷、氯化氫、氟化氫、六氟化鎢等都屬于毒性氣體。

惰性氣體

惰性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上氣體嚴格。

但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故，屬于這類的氣體有四氟化碳、六氟化硫等。

氧化性氣體

這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有三氟化氯、氯氣等。

半導體特氣監測解決方案

針對半導體工廠的特種氣體泄漏監測需求，譜育科技推出了GDM系列特氣檢測儀產品。

GDM-2100 Series特氣檢測儀

GDM-2100 Series特氣檢測儀是一款固定泵吸式氣體檢測儀，可從本地或遠端將樣氣抽取到檢測儀內部的傳感器流路中，測量出相應的氣體濃度，采樣距離可達30米。

?參數配置：適用于電化學、NDIR、催化燃燒測量

?測量氣體：易燃氣體、有毒有害氣體、惰性氣體、氧化性氣體

?傳輸方式：4-20mA、以太網、三路繼電器

?供電方式：48V PoE或24V DC

?采樣接口：1/4 inch或6mm

?采樣距離：≤30米

GDM-3100 Series特氣檢測儀

GDM-3100Series是一款便攜泵吸式特氣檢測儀，檢測儀標配大容量鋰電池組，可在無外接電源的情況下連續進行采樣和檢測，儀器內置報警蜂鳴器，在檢測濃度超過報警閾值時會發出相應的報警提示音，可在半導體廠務系統等多種應用場景下使用。

?參數配置：適用于電化學、NDIR、催化燃燒測量

?測量氣體：易燃氣體、有毒氣體、惰性氣體、氧化性氣體

?傳輸方式：以太網

?供電方式：自帶可充電鋰電池

?電池參數：124Wh，三元鋰電池

?采樣接口：1/4 inch或6mm

?采樣距離：≤30米

行業應用

半導體、微電子、光伏、光纖、TFT-LCD、LED、生物醫藥等。

應用業績

華潤微電子、卓勝微、馳拓科技、中電科聲光電、京東方、乾照光電、大陽日酸、國家光電實驗室等。