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3D形貌測試儀鷹眼系列
3D形貌測試儀鷹眼系列

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北京

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北京卓立漢光儀器有限公司

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隨著半導體技術的電子技術工藝的發展,電子產品都往小型化,輕薄化發展。iWatch的一經推出,穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。

卓立漢光的3D形貌測試儀應運而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術,能夠高精度還原產品的3D結構,對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和超強的穩定性,一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密精密點膠、3D玻璃,半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測,就是這款產品的主要應用領域。

卓立漢光長期專注于光譜技術的應用研發,3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果(利號:CN207556477U)。該項技術,具有以下優點:

技術

線性共焦光譜技術

點測技術

激光掃描

3D相機

速度

1000 line/s

1000 point/s

1000 line/s

多角度拍照快

掃描寬度

6.5mm/20mm

可選

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面層數

多層

多層

表面

表面

建模

數據量

鷹眼系列3D形貌測試儀主要特點有:

1、非接觸性測量;

2、線掃描,高效率;

3、微米級精度;

4、滿足透明面及高對比度表面測試;

5、支持二次開發;

鷹眼系列3D形貌測試儀主要應用

1、精密部件3D尺寸及段差測試;

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試;

3、3D玻璃缺陷檢測;

4、半導體表面缺陷測試;

5、多層薄膜厚度測試;

3D形貌測試儀產品型號及規格

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光譜

共焦光譜

精度

1um

8um

重復性

±0.3um

±4um

線掃寬度

6.5mm

20mm

Z軸量程范圍

1.3mm

5mm

掃描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

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