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儀器簡介：
本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導(dǎo)電膜(金膜)，儀器操作簡單方便，
是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
技術(shù)參數(shù)：
1.靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm 純度：99.999%
2、真空室：直徑：160mm，高：110mm
3.樣品臺(tái)（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm
4．工作真空： 2×10-1—10-1 mbar
5.離子電流表：**電流：50mA
6.計(jì)時(shí)器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間。
7.**電壓：-1600DVC
8.機(jī)械泵:2升/每秒
9.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，
10．真空氣閥： 配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ4*2.5mm軟管。
主要特點(diǎn)：
輕便、濺射面積大
靶材可按用戶要求加工制作
暫無數(shù)據(jù)！
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