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產品型號

SGC-10薄膜測厚儀

主要特點

1、非接觸式測量，用光纖探頭來接收反射光，不會破壞和污染薄膜；

2、測量速度快，測量時間為秒的量級；

3、可用來測薄膜厚度，也可用來測量薄膜的折射率n和消光吸收k；

4、可測單層薄膜，還可測多層膜系；

5、可廣泛應用于各種介質，半導體，液晶等透明半透明薄膜材料；

6、軟件的材料庫中整合了大量材料的折射率和消光系數，可供用戶參考；

7、內嵌微型光纖光譜儀，結構緊湊， 光纖光譜儀也可單獨使用。

8、強大的軟件功能：界面友好，操作簡便，用戶點擊幾下鼠標就可以完成測量。便捷快速的保存、讀取測量得到的反射譜數據數據處理功能強大，可同時測量多達四層的薄膜的反射率數據。一次測量即可得到四層薄膜分別的厚度和光學常數等數據。材料庫中包含了大量常規的材料的光學常數數據。用戶可以非常方便地自行擴充材料數據庫。

9、儀器具有開放性設計，儀器的光纖探頭可很方便地取出，通過儀器附帶的光纖適配器（如圖所示）連接到帶C-mount適用于微區（>10μm，與顯微鏡放大率有關）薄膜厚度的顯微鏡（顯微鏡需另配），就可以使本測量儀測量。

技術參數

1、厚度范圍： 20nm-50um（只測膜厚），100nm-25um（同時測量膜厚和光學常數n，k），根據薄膜材料的種類，其范圍有所不同。

2、準確度： <1nm或<0.5%

3、重復性： 0.1nm

4、波長范圍： 380nm-1000nm

5、可測層數： 1-4層

6、樣品尺寸： 樣品鍍膜區直徑>1.2mm

7、測量速度： 5s-60s

8、光斑直徑： 1.2mm-10mm可調

9、樣品臺： 290mm*160mm

10、光源： 長壽命溴鎢燈（2000h）

11、光纖： 純石英寬光譜光纖

12、探測器： 進口光纖光譜儀

13、電源：AC110V-240V，50HZ-60HZ

產品規格

尺寸：300mm*300mm*350mm，重量：18kg