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超快激光器微加工掃描振鏡掃描頭
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LS-SCAN:高精度、高速度、高加速度掃描振鏡

LASEA掃描振鏡:LS-SCAN

— 高速度、高加速度掃描振鏡

LS-SCAN是LASEA獨有的高速度、高加速度掃描振鏡,采用**技術,專業用于激光微納加工和高精度打標等應用。

傳統標刻應用需要高掃描速度,同時需要精度在30μm左右,微納加工需要高掃描速度以防止熱量累積,但是精度更為重要,而且,加工圖案通常有更多的細節,需要不斷的加速。

LS-Scan振鏡技術,基于平動線圈馬達,不同于傳統的移動磁鐵技術。動圈設計比移動磁鐵更輕,且動圈的耗電量比移動磁鐵的少5倍,LS-Scan振鏡利用此技術大大降低了熱漂移,且加速斜坡比傳統使用移動磁鐵技術的振鏡小20%。正是由于這些優異的性能,才可以使用更高的激光功率而不會降低加工精度,同時也大大提高加工效率。

LS-Scan鏡所有的主要電子控制部件都集成在LASEA的控制機架,進一步增加了LS-Scan的熱穩定性。振鏡馬達很容易地連接到機架上,機架通過以太網接口連接到電腦。所有輸入和輸出很容易從機架后面板訪問。整個過程是由LASEA的KYLA™軟件驅動的,這是一個完整的微納加工軟件,能夠與多個平臺、CCD和激光器通信。

每個LS-Scan馬達都與可固定在導軌上的控制卡連接,控制卡通過以太網接口連接電腦。工藝過程通過KYLA軟件控制,KYLA軟件是一個全功能微納加工軟件,可以同時實現振鏡、多個平臺、影像系統(相機)和激光器之間的通訊。另外,使用標準的XY2-100協議可以兼容外部的控制卡和軟件。

主要特點:

- 高加速度

- 高精度

- 低熱漂移

- 可選3D功能

- 易于連接的KYLA微納加工軟件

- XY2-100協議兼容

主要規格

振鏡尺寸

聚擘國際貿易(上海)有限公司/聚嶸科技股份有限公司,專業從事半導體封裝及測試、LED封裝測試、太陽能、SMT、飛秒激光等相關設備與材料的銷售及售后服務,并提供芯片安全激光錯誤注入解決方案及飛秒激光應用及相關解決方案。公司總部位于上海,在深圳、北京、西安設有辦事處。

聚擘國際貿易(上海)有限公司是 法國Amplitude公司 、比利時NextScan Technology公司 、 法國ALPhANOV光學與激光技術中心、比利時LASEA公司、德國NOVAE公司、德國Pulsar Photonics公司 在中國的總代理,公司設有專業的飛秒精密微納加工實驗室,擁有專業的前沿激光微納加工應用開發及技術支持團隊,提供超快激光器及相關應用的解決方案。助您在高端應用、微加工領域及材料研究領域一臂之力。

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