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PhenomPro臺式掃描電鏡 專業版

—— 智能、高效、多功能

? 放大倍數：20×-100，000×

? 分辨率：優于17nm

? 電子槍：1500小時CeB6燈絲

? 抽真空時間：10秒

? 樣品移動方式：自動馬達樣品臺

? 樣品定位方式：光學和低倍電子雙重導航

? 樣品導電性要求：無需噴金，直接觀測絕緣體

? 拓展功能：3D粗糙度重建、纖維統計測量，高倍拼圖等

? 環境掃描選件（ESEM）：溫控樣品臺，可直接觀測液體

表面細節豐富的高分辨率照片

Phenom Pro 為您提供高信噪比、表面細節豐富的優質圖像：

? 20×-100，000×連續放大，分辨率優于17nm，大景深；

? 信號較少的鎢燈絲電鏡通過提高加速電壓來產生更多信號，密度較小的樣品會因為電子穿透過深而導致表面細節缺失。信號是鎢燈絲10倍以上的CeB6在低

電子穿透深度淺，避免樣品被破壞，展現更多表面細節；

? 探測背散射電子，展現清晰形貌結構的同時，提供豐富的成份信息；

左圖：5kV低加速電壓下，電子反應區位于樣品表面，配合高亮度CeB6燈絲，既保證了分辨率，又得到樣品表面的信息；

右圖：15kV高加速電壓下，電子穿透深度較深，表面細節丟失

CeB6燈絲在樣品表面單位面積內激發的信號約是鎢燈絲的10倍，適合于低加速電壓觀測

表面形貌和成分信息同時展現

背散射電子的產率、出射角度與樣品成份及表面形貌相關。Phenom采用4分割半導體背散射電子探測器，為您提供兩種成像模式，模式之間可迅速切換：

? 成份模式：同時給出樣品表面形貌與成份信息，不同元素可由其灰度對比度的不同加以分辨

? 形貌模式：去除成份信息，樣品表面凹凸起伏等微觀結構更加明晰，適用于表面粗糙度和缺陷分析

成份模式4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相疊加

形貌模式4分割背散射電子探測器扇區所得的信號相抵消

成份模式圖像包含樣品成份與形貌信息

形貌模式圖像僅突出樣品表面形貌特征

**樣品杯，30秒快速成像

Phenom**樣品杯、低真空設計、**的真空封鎖技術，裝入樣品后30秒內即可得到高質量圖像，耗時僅為傳統電鏡的1/10左右。

直接觀看絕緣體，無需噴金

Phenom采用低真空技術，出射電子與空氣分子碰撞產生正離子，正離子與樣品表面累積的電子中和，有效抑制荷電效應的產生，直接觀測各種不導電樣品（如下圖所示）。

利用降低荷電效應樣品杯，更可將開始荷電的放大倍數提高8倍左右，而且不會影響燈絲壽命，下圖頭發示例：

操作簡便，全程導航

? 自動/手動聚焦

Phenom操作界面。通過點擊右側圖標可以輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調節、旋轉等操作。界面右側顯示光學導航和低倍SEM導航窗口，方便用戶在不同樣品、不同區域間進行切換。

? 自動/手動亮度

? 自動/手動對比度

? 自動燈絲居中調節

? 自動馬達樣品臺

? 光學/電子樣品導航

光學導航，所有帶觀測樣品盡在視野之中，高倍下準確切換樣品，只需點擊感興趣樣品，即可自動移動到屏幕中央

低倍SEM照片導航，導航窗口中的彩色矩形框指示了住觀測窗口的觀測區域，點擊感興趣的區域，自動移動到樣品中央。

環境適應性高，完全防震

Phenom可以放置在幾乎所有的室內環境當中，無需超凈間。采用燈絲、探測器、樣品臺相對一體化的設計，震動不會引起三者間的相對運動，使Phenom成像不受震動影響，可放置在較高樓層。

互聯網遠程檢測

Phenom擁有遠程檢測功能，通過網絡，專業工程師可隨時為您遠程檢測系統、答疑解難，為您提供全方位的保護，讓您的Phenom隨時處于**工作狀態。

豐富的拓展功能選件

適用于不同領域的樣品杯選件