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日本樣本
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主要特征:
? **高通量聚焦離子束(FIB)加工系統(tǒng)
? 緊湊式設(shè)計以便靈活布局-安裝空間減少20%
? 低加速電壓時出色的性能
? 快速尋找觀察位置的平臺系統(tǒng)
主要規(guī)格:
離子源:Ga(鎵)液態(tài)金屬離子源
圖像分辨率:5nm
束電流:**至60 nA
加速電壓:1~30Kv
放大倍率:×60 (用于視場搜索)×200~×300,000
圖片獲取:平臺搜索(可選)
樣品臺1(標(biāo)準(zhǔn)):5軸馬達(dá)驅(qū)動樣品臺
樣品臺2(可選):側(cè)插式測角樣品臺
沉積物:**個GIS裝置
碳、鎢、鉑
裝置:主要部件+操作臺
暫無數(shù)據(jù)!