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網(wǎng)絡(luò)化磁場(chǎng)硅單晶爐可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化控制，具有高精度自動(dòng)抽空檢測(cè)系統(tǒng)、高精度質(zhì)量流量自動(dòng)控制系統(tǒng)、高精度自動(dòng)加熱檢測(cè)控制系統(tǒng)、高精度水溫自動(dòng)檢測(cè)控制系統(tǒng)、高精度諧波抑制與無功功率自動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)等。具備多臺(tái)設(shè)備的集中監(jiān)控、數(shù)據(jù)傳輸和管理等接口，可實(shí)現(xiàn)拉晶網(wǎng)絡(luò)化管理，詳細(xì)地拉晶記錄備份。各操作參數(shù)可實(shí)現(xiàn)摸屏控制。具有各種連鎖及安全保護(hù)措施，如水溫報(bào)警、壓力防爆閥、主副室限位互鎖、過流報(bào)警等。
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