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美國 ALICAT 20 系列標準型氣體質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳
感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有 NIST 可溯源校準證書。可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。
應用及案例
● 大學/研究所 ● 泄漏檢測
● 環境監測 ● 真空行業及鍍膜
● 工業爐窯 ● 半 導 體
● 汽車制造 ● 光 伏
● 燃料電池 ● 計量校準
● 過程工藝氣體測量
產品特色
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 可選高精度：優于0.5%讀數
● 可測范圍廣，0.01~100%滿量程
● 響應時間快，優于10 ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（*多5種成分），并存儲20種混合氣
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