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ALICAT 低壓損氣體質量流量控制器 21W系列品牌
朗潤達產地
北京樣本
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量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標升級：
質量流量普通精度 ± 0.75% 讀數或± 0.1% 滿量程（取**值）
質量流量高精度 ± 0.6% 讀數或± 0.1% 滿量程（取**值）
重復性 ±（0.1% 讀數 + 0.02% 滿量程）
質量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差
± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差
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