功率(kw):
-重量(kg):
-規格外形(長*寬*高):
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設備采用立式模塊化設計結構,配備多個檢修門,便于腔體獨立安裝與維護,方便組裝和日后升級;配備全封閉式凈化料架傳送系統,避免工件受到污染;工件可選擇單面或雙面鍍膜;主要用于沉積光學彩膜或金屬膜。設備的鍍膜室長期保持高真空狀態,雜氣少,所鍍制的膜層純凈度高,折射率好;配置了全自動Speedfo閉環控制系統,提高膜層沉積速率;工藝參數可追溯,生產過程實現全程監控,方便追蹤生產不良;設備自動化程度高,配合機械手使用可銜接上下工序,降低人工成本。
設備可鍍制Nb205、Si02、Ti02、In、Cu、Cr、Ti、SUS、Ag等氧化物及單質金屬材料,主要用于金屬與光學材料疊加的光學彩膜工藝;適用于玻璃、PC、PET等材質的平面類產品,已廣泛應用于PET膜片/復合板、玻璃蓋板、顯示屏等產品。
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