口徑：
-壓力：
150psig設計標準：
-出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質：
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產品介紹
MGDS 隔膜閥，膜片式硬密封結構，超低漏率；適用于超高純度氣體，半導體用（毒、腐）氣體，滿足一體化氣體分配系統的使用。
主要部件材料
閥體 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PCTFE
工作條件
工作壓力 150psig
爆破壓力 450psig
流量系數 0.1/0.3HF
工作溫度 -10 ～ 80℃
內漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
內表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
產品特點
適用于一體化氣路分配系統
每臺閥門進行單獨氦質譜泄漏測試
超長使用壽命
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