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產品介紹
MGDS氣體輸送系統為一體化氣體分配系統技術提供了一種方法，利用平面密封技術，在更緊湊的氣體面板上構建氣體輸送系統。每個表面安裝組件遵循 SEMI 標準，可根據需求形成不同的配置形式。維護時，僅需在面板上方進行操作，簡單方便。
MGDS 系列配套專用的減壓器、隔膜閥、單項閥、底座及零部件。
主要部件材料
MGDS底座系列 316L /316L（VIM+VAR）
MHD系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy
MCV系列 316L/316L（VIM+VAR）+Ni-Co alloy+FFKM
工作條件
工作壓力 0 ～ 150psi
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作溫度 -10 ～ 60℃
內表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm
產品特點
利用平面密封技術，在更緊湊的氣體面板上構建氣體輸送系統
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