中國粉體網訊 靜電卡盤又稱為靜電吸盤(ESC),在半導體設備中價值比較高的部件之一,是一種半導體工藝中的硅片夾持工具,利用靜電吸附原理來固定硅片。靜電卡盤結構示意圖來源:Shinko官網,光大證券研究所目前,靜電吸盤廣泛應用[更多]
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