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1. 液晶調制技術，無機械轉動部件，重復性，信噪比高
2. 技術成像系技術，所有樣品均可成像，對于透明樣品,自動去除樣品的背反射信號,使得數據分析更簡單.
3. 反射式微光斑，覆蓋全譜段，利于非均勻樣品圖案化樣品測試
4. 全自動集成度高，安裝維護簡便
5. 一鍵式操作軟件，快速簡單
6. 自動MAPPING掃描，分析樣品鍍膜均勻性
1. 光譜范圍：450-1000 nm
2. 多種微光斑自動選擇
3. 光斑可視技術，可觀測任何樣品表面
4. 自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自動調節; Z軸高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探測器
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