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一、設備簡介

BTF-1600C-CVD-D2是一臺非標定制的多源高溫CVD系統。本設備按客戶要求加裝剛玉管一支，加熱爐，循環泵、排風系統、機架等。電氣控制采用內置控溫儀表，其控溫精準且操作直觀簡便。儀表采用國內**品牌，質量精確可靠。爐管為剛玉管，外徑￠60m，長度1000mm。爐管橫放固定于爐膛內。左端法蘭為進氣端，配有壓力保護組件和2個進氣口，其中一路由截止閥控制，為進混氣；另外一路為環硼氮烷，通過電磁閥+單向閥控制；右端法蘭為出氣端，配有蝶閥控制的壓力控制系統和真空泵組成，法蘭前端配有攪拌機構，對于尾端沉積物料具有清理作用，同時配有過濾組件。設備進氣端液態源蒸發組件制冷制熱由循環泵工作，通過循環泵工作，以及管道保溫及腔體保溫隔絕等方法實現低溫、高溫下的切換。液態源密封腔室和加熱爐密封腔室，均通過PVC管道連接至腔室頂部，通過管道風機與客戶排風系統對接。本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。爐體和門板顏色采用深灰+時尚橘紋白。設備簡約又不乏穩重，更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。

二、技術參數