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一、設備組成

設備組成部分包含：1）加熱系統2）Plasma系統3）爐管轉動系統4）爐管傾斜系統5）觸屏操作系統6）進出料組件7）進出氣法蘭組件8）爐管及安全保護組件 9）真空系統。10）場內小電流裝置

二、結構描述

1、加熱系統：

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，該系統設置有超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求。溫區為單溫區，溫區長440mm，異形石英管規格采用Φ60*Φ100*1200。

2、Plasma系統：

本系統借助于輝光放電產生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過反應氣態放電，有效利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式。

3、爐管轉動系統：

爐管轉動系統可以讓爐管360°勻速轉動，轉速在0-20rpm連續可調。

4、攪拌轉動系統可以實現360°勻速轉動，轉速在0-30rpm連續可調。

5、爐管傾斜系統可以大角度傾斜，方便進出料，傾斜角度在0-30°之間。

6、觸屏操作系統：該系統可以讓設備在自動模式下高度自動化運行，所有參數程序設定好后自動運行：可實現按照設定程序連續工作，可設置多工作段不同參數，并可進行某工作段循環工作及某程序循環工作。

7、進出料組件：進料端由進料罐+送料機構組成，出料端由收集罐+手動輔助升降組件組成

8、進出氣法蘭組件：設備法蘭左端為進氣端，一側配有截止閥控制的進氣口，對接混氣罐輸出的氣體。另一側預留KF25接口。右端為出氣端，一側由球閥控制的出氣口，另一側為KF25抽口。

9、爐管及安全保護組件：爐管為異形石英管，通過左右兩端磁流體密封法蘭實現真空下的回轉，設備左端法蘭配有SMC安全保護組件。

10、真空系統：由一個PCG550真空計和一臺DRV16機械泵組成，抽口端由KF25手動擋板閥控制。

11、場內小電流裝置：設備左端為正極：由不銹鋼桿和導電片組成；右端為負極，由不銹鋼導電片固定在送料桿端頭。正極配有外端接線棒。

本設備采用承重框架結合鈑金包圍形式。機架采用深灰色、門板等采用時尚橘紋白。設備簡約又不乏穩重，更具備操作直觀方便、控溫精確等性能。

三、技術參數