杭州嘉悅智能設備有限公司
已認證
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簡介
YG-1706I-CVD系統由YG-1706管式爐、三路浮子混氣系統、內置測溫系統及真空系統等組成。真空泵采用雙極旋片真空泵,真空度可達到5x10-1Torr;內置測溫系統可實時監測反應管內的溫度變化。適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長等場所。同時煜志良好的售后服務體系,使得該產品的整體評價遠超同行業標準。
主要技術參數
YG-1706 真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫; 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 加熱元件采用進口優質U型硅鉬棒,表面負荷高,大大提高了其使用壽命 |
電壓 | AC220V 50Hz/60Hz;功率:6kW |
爐管 | 采用99氧化鋁剛玉管,致密度高,經久耐用,不易斷裂 尺寸:Φ40/60/80*1000mm 4個氧化鋁管堵 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等 |
加熱系統 | 加熱元件:6根U型硅鉬棒 加熱區長度:280mm 恒溫區長度:100mm 工作溫度:≤1600℃ **溫度:1650℃ 升溫速率:≤10℃/min |
溫控系統 | 溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能 50段升降溫程序 測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶 恒溫精度:±1℃ |
三路浮子 混氣系統 | 三路浮子流量計配置在移動工作臺上,可以同時通入三路不同的氣體 ; 內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥; 管路采用聚四氟乙烯軟管,耐溫耐腐; 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥; 流量規格:0.3-3L/min; 控制精度:±5%. |
低真空系統 | 采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr 不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性 |
內置測溫系統 | 測溫元件可從加熱區邊緣延伸至溫區中心 法蘭密封,保證爐管的密封性 測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶 |
尺寸 | 高溫爐:660*580*910mm 混氣移動工作臺:800*540*720mm |
可選配件 | HQZ混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉坩堝,剛玉管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環機等。 |
可根據客戶要求定制!
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企業名稱
杭州嘉悅智能設備有限公司企業類型
其他有限責任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限經營范圍
一般項目:通用設備制造(不含特種設備制造);烘爐、熔爐及電爐制造;冶金專用設備制造;玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產專用設備制造;半導體器件專用設備制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;泵及真空設備銷售;電子產品銷售;儀器儀表銷售;機械設備研發;冶金專用設備銷售;半導體器件專用設備銷售;機械電氣設備銷售;工業自動控制系統裝置銷售;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;新材料技術研發;新型陶瓷材料銷售;石墨烯材料銷售;石墨及碳素制品銷售;非金屬礦及制品銷售;功能玻璃和新型光學材料銷售;貨物進出口;技術進出口(除依法須經批準的項目外,憑營業執照依法自主開展經營活動)。
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