杭州嘉悅智能設備有限公司
已認證
簡介
1200℃加長雙溫區CVD系統是由加長雙溫區管式實驗電爐,多通道高精度質量流量計混氣系統,高真空分子泵系統等組成。可實現真空達0.001Pa混合氣體化學氣相沉積、擴散實驗。同時上海煜志良好的售后服務體系,使得該產品的整體評價遠超同行業標準。
主要技術參數
爐體結構 | 整機采用SUS304不銹鋼材質,流線型外觀,斷熱式結構 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好 雙層殼體結構,內置風冷層,有效降低外殼表面溫度 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;功率:8kW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小; 尺寸:Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統 | 加熱元件采用優質合金絲,表面負荷高、經久耐用; 加熱區長度:350mm*2; 恒溫區長度:450mm; 工作溫度:≤1150℃; **溫度:1200℃; 升溫速率:推薦≤10℃/min; *快升溫速度30℃/min. |
溫控系統 | 日本富士儀表,64段控溫程序,可分步、分段; 測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ |
混氣系統 | 三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量 流量規格:0~1SLM 流量精度:±1.5% 法蘭上預留一路浮子流量計,流量規格0.3-3L/min |
真空系統 | 采用雙極旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10-4Pa 復合真空計顯示,配置電阻規+電離規 抽速:110L/s,風冷式散熱結構 配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥 |
可選配件 | 冷水機,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件等 |
保修期 | 整機一年保修(相關耗材除外) |
可根據客戶要求定制!
特色與優勢
1.加長雙溫區爐體,大大加長了實驗區域的溫度均勻性;
2.開啟式爐蓋設置,降低沉積溫度、加快沉積速度;
3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質量流量計,數字顯示精確控制氣體流量;
4.雙極旋片真空泵+分子泵,實現對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa;
5.配置一路浮子流量計及三路高精度質量流量計混氣系統,可滿足不同氣氛下的實驗要求;
6.內置S型熱電偶,可快速、實時監測反應物料的溫度變化情況;
7.尾氣活性炭過濾處理,減少反應氣體排放對實驗室環境的影響。
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企業名稱
杭州嘉悅智能設備有限公司企業類型
其他有限責任公司信用代碼
91310114MA1GTDEL81法人代表
張鵬注冊地址
浙江省杭州市富陽區春江街道江南路68號第23幢202室成立日期
2020-05-12注冊資本
1,939.1萬(元)有效期限
2020-05-12 至 無固定期限經營范圍
一般項目:通用設備制造(不含特種設備制造);烘爐、熔爐及電爐制造;冶金專用設備制造;玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產專用設備制造;半導體器件專用設備制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;泵及真空設備銷售;電子產品銷售;儀器儀表銷售;機械設備研發;冶金專用設備銷售;半導體器件專用設備銷售;機械電氣設備銷售;工業自動控制系統裝置銷售;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;新材料技術研發;新型陶瓷材料銷售;石墨烯材料銷售;石墨及碳素制品銷售;非金屬礦及制品銷售;功能玻璃和新型光學材料銷售;貨物進出口;技術進出口(除依法須經批準的項目外,憑營業執照依法自主開展經營活動)。
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