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杭州嘉悅智能設備有限公司
上海煜志科技有限公司

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1200加長雙溫區CVD系統

1200加長雙溫區CVD系統
  • 品牌:上海煜志
  • 產地:上海
  • 關注度:2485
  • 型號:YHGS-I
  • 報價:5-10萬元
  • 信息完整度:
核心參數
    產品介紹

    簡介 

    1200℃加長雙溫區CVD系統是由加長雙溫區管式實驗電爐,多通道高精度質量流量計混氣系統,高真空分子泵系統等組成。可實現真空達0.001Pa混合氣體化學氣相沉積、擴散實驗。同時上海煜志良好的售后服務體系,使得該產品的整體評價遠超同行業標準。

    主要技術參數

    爐體結構

    整機采用SUS304不銹鋼材質,流線型外觀,斷熱式結構

    日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

    雙層殼體結構,內置風冷層,有效降低外殼表面溫度

    爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料

    電源

    電壓:AC220V 50/60Hz;功率:8kW

    爐管

    高純石英管,高溫下化學穩定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小;

    尺寸:Φ60/80/100*1200mm

    法蘭及支撐

    SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空

    一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

    可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

    包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合

     

    加熱系統

    加熱元件采用優質合金絲,表面負荷高、經久耐用;

    加熱區長度:350mm*2;

    恒溫區長度:450mm; 

    工作溫度:≤1150℃; 

    **溫度:1200℃;

    升溫速率:推薦≤10℃/min;

    *快升溫速度30℃/min.

    溫控系統

    日本富士儀表,64段控溫程序,可分步、分段; 

    測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ 

    混氣系統

    三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制

    內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

    管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套

    每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

    通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量

    流量規格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

    法蘭上預留一路浮子流量計,流量規格0.3-3L/min

    真空系統

    采用雙極旋片真空泵+分子泵,極限真空可達4.0*10-4Pa

    復合真空計顯示,配置電阻規+電離規

    抽速:110L/s,風冷式散熱結構

    配置真空角閥、波紋管、壓差式充氣閥

    可選配件

    冷水機,各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件等

    保修期

    整機一年保修(相關耗材除外)


    可根據客戶要求定制!


    特色與優勢

    1.加長雙溫區爐體,大大加長了實驗區域的溫度均勻性;

    2.開啟式爐蓋設置,降低沉積溫度、加快沉積速度;

    3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質量流量計,數字顯示精確控制氣體流量;

    4.雙極旋片真空泵+分子泵,實現對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa;

    5.配置一路浮子流量計及三路高精度質量流量計混氣系統,可滿足不同氣氛下的實驗要求;

    6.內置S型熱電偶,可快速、實時監測反應物料的溫度變化情況;

    7.尾氣活性炭過濾處理,減少反應氣體排放對實驗室環境的影響。

    問商家

    • 1200加長雙溫區CVD系統的工作原理介紹?
    • 1200加長雙溫區CVD系統的使用方法?
    • 1200加長雙溫區CVD系統多少錢一臺?
    • 1200加長雙溫區CVD系統使用的注意事項
    • 1200加長雙溫區CVD系統的說明書有嗎?
    • 1200加長雙溫區CVD系統的操作規程有嗎?
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    工商信息

    企業名稱

    杭州嘉悅智能設備有限公司

    企業類型

    其他有限責任公司

    信用代碼

    91310114MA1GTDEL81

    法人代表

    張鵬

    注冊地址

    浙江省杭州市富陽區春江街道江南路68號第23幢202室

    成立日期

    2020-05-12

    注冊資本

    1,939.1萬(元)

    有效期限

    2020-05-12 至 無固定期限

    經營范圍

    一般項目:通用設備制造(不含特種設備制造);烘爐、熔爐及電爐制造;冶金專用設備制造;玻璃、陶瓷和搪瓷制品生產專用設備制造;半導體器件專用設備制造;烘爐、熔爐及電爐銷售;泵及真空設備銷售;電子產品銷售;儀器儀表銷售;機械設備研發;冶金專用設備銷售;半導體器件專用設備銷售;機械電氣設備銷售;工業自動控制系統裝置銷售;技術服務、技術開發、技術咨詢、技術交流、技術轉讓、技術推廣;新材料技術研發;新型陶瓷材料銷售;石墨烯材料銷售;石墨及碳素制品銷售;非金屬礦及制品銷售;功能玻璃和新型光學材料銷售;貨物進出口;技術進出口(除依法須經批準的項目外,憑營業執照依法自主開展經營活動)。
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    杭州嘉悅智能設備有限公司(簡稱:中杭嘉悅),是杭州光學精密機械研究所所屬的、多家國資產業投資基金共同孵化的一家以新材料高溫智能裝備的生產、研發、制造及銷售于一體的高新技術企業。中杭嘉悅技術團隊來自于中國科學院上海光學精密機械研究所與上海應用物理研究所,擁有極強的跨學科、綜合性的研發能力,秉承“工藝”與“裝備”相結合的理念,通過與浙江大學、中山大學、上海大學、清華大學、中科院上海光機所等國內知名科研團隊的合作,在新材料高溫智能裝備方面形成了一系列國內及國際領先的產品。目

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