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6月29日至7月1日，國際半導體展（SEMICON China 2023）在上海新國際博覽中心隆重舉辦。SEMICON China是全球規(guī)模最大、最具影響力的半導體行業(yè)盛會，囊括了全球主要的半導體設備及材料廠商。中科科儀作為中國尖端科學儀器和真空技術的引領者，在此次展會中展示了領先的電子光學與真空技術、半導體檢測設備與核心零部件產品及解決方案。

在半導體產業(yè)中，檢測設備及核心零部件扮演著至關重要的角色，是實現(xiàn)半導體器件高精度制造和高可靠性的關鍵組成部分。中科科儀作為國內一家在掃描電子顯微鏡領域持續(xù)耕耘50余年的企業(yè)，成功研制多款掃描電子顯微鏡并于近年來研制出國內首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，打破國外技術壟斷，解決了我國半導體等高端裝備制造領域檢測設備依賴進口的“卡脖子”問題，在晶圓檢測、線寬測量、半導體器件失效分析等方面有著廣泛應用。

真空環(huán)境是半導體生產過程的基本條件，半導體前道工藝中的刻蝕、離子注入、薄膜沉積等都需要在真空環(huán)境中進行，真空獲得產品是半導體裝備的核心零部件。磁懸浮分子泵是技術水平最高的超高真空獲得產品，中科科儀研制了國內第一臺磁懸浮分子泵并形成了系列化產品，其中半導體系列磁懸浮分子泵已通過多個頭部半導體裝備廠家的長期嚴苛工藝驗證，實現(xiàn)了批量銷售。目前，中科科儀在半導體領域積累了多年的產品應用經(jīng)驗，對半導體工藝要求有了深入的理解，可根據(jù)客戶需求進行定制化設計和生產，滿足進口產品國產化替代和國內半導體裝備的使用要求。

半導體產業(yè)是一個關鍵戰(zhàn)略性產業(yè)，其技術水平和發(fā)展規(guī)模已成為衡量一個國家產業(yè)競爭力和綜合國力的重要標志之一。未來，中科科儀將持續(xù)加大研發(fā)投入，深耕電子光學及真空技術，為客戶提供專業(yè)可靠的產品及服務，與產業(yè)鏈上下游企業(yè)一道共同推動和見證中國半導體產業(yè)的崛起！

展會還在繼續(xù)，歡迎您蒞臨SEMICON China 2023 中科科儀展位（E7館 E7146），與我們交流探討半導體檢測設備及核心零部件國產化解決方案，期待與您相約上海新國際博覽中心！

關于中科科儀

北京中科科儀股份有限公司（簡稱中科科儀），前身為中國科學院科學儀器廠，始建于1958年，是中國科學院首家事業(yè)單位整體轉改制企業(yè)。中科科儀是中國尖端科學儀器裝備及真空技術領軍企業(yè)，業(yè)務領域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質譜檢漏儀等科學儀器裝備和分子泵、真空應用設備等核心零部件及產業(yè)設備。70年代，研制出我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵和第一臺商用氦質譜檢漏儀。近年來，成功研制出國內首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、首臺磁懸浮分子泵，均達到國際先進水平。2008年被評為國家級高新技術企業(yè)，2014年被評為國家級企業(yè)技術中心，2021年獲評國家級“專精特新”小巨人企業(yè)稱號，2022年獲評國家級制造業(yè)“單項冠軍”示范企業(yè)稱號。是中國通用機械工業(yè)協(xié)會副會長單位，中國真空學會副理事長單位，集成電路零部件產業(yè)技術創(chuàng)新聯(lián)盟副理事長單位，北京真空學會理事長單位。

資料來源：企業(yè)公眾號