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中科科儀北京總部大“變身”

乘國產科學儀器發展東風展現新擔當

在北京中關村，有這樣一個歷經時代變遷的科學儀器“老園區”——中科科儀北京總部所在地。歷經六十余年的發展，她孕育了我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵等多項國內首臺套科學儀器及核心零部件，囊獲了多項國家和科學院重大科技成果獎。

透過老照片，我們仿佛又看到了，一代代科儀人為促進我國科學儀器事業發展付出努力的身影，他們在這里抒寫著中國掃描電鏡的發展歷程，親歷著中國真空獲得技術的發展步伐，更激勵著新一代科儀人攜手并肩，為國產科學儀器裝備事業發展貢獻力量。

中科科儀北京總部園區舊貌

拍攝于20世紀90年代

中科科儀北京總部園區舊貌

拍攝于2007年

園區樓宇新外觀以科學院紅為主色，契合著科儀六十余年的悠久歷史傳承和創新求發展的企業精神內核，為歷史悠久的建筑注入新的生機活力，更代表了科儀人為國產科學儀器事業奮斗的滿腔熱情。

中科科儀北京總部園區新貌

今天，當我們再次穿行在中關村成府路上，走到最西端，北京大學和清華大學兩座頂尖學府交匯處，看到的是新時代國產科學儀器企業的新面貌，期待的是國產科學儀器發展的新飛躍。

中科科儀總部園區對標科學儀器創新園區發展新模式，圍繞產業鏈和創新鏈發展，成為電子光學類科學儀器及核心零部件創新策源地，推進科學儀器裝備基地建設，逐步形成“龍頭企業＋孵化”的共贏共生局面，打造科學儀器產業發展新生態。

科學儀器共享窗口——電鏡DEMO中心

技術創新基地——研發實驗室

習近平總書記強調：“要打好科技儀器設備、操作系統和基礎軟件國產化攻堅戰，鼓勵科研機構、高校同企業開展聯合攻關，提升國產化替代水平和應用規模，爭取早日實現用我國自主的研究平臺、儀器設備來解決重大基礎研究問題。”

科技儀器研發水平是創新實力的體現，也在很大程度上決定著基礎研究和新技術、新產品開發的廣度和深度。從歷史上看，許多重大科學研究成果的突破，通常以科學儀器和技術手段的創新為先導。

上個世紀五十年代，中科院為了給科研工作創造條件，及時提供新的科學儀器裝備，決定設置綜合性院屬工廠，正式成立中國科學院科學儀器廠（現在“北京中科科儀股份有限公司”前身，后文提到的“中國科學院科學儀器廠”、“北京科學儀器廠”、“科儀廠”，均指為“中科科儀”）。

中科科儀建廠初期的業務定位，即為全院制造特殊精密機械設備，承擔電子學及光學儀器的制造和配套工作，曾經承擔了我國第一顆人造地球衛星“東方紅一號”的本體加工與總裝工作。原中顧委常委、國務委員、中國科學院黨組書記張勁夫同志曾在兩彈一星回憶錄中評價，“我們科學院在北京建立了科學儀器廠，作為人造衛星的總裝廠”，“北京科學儀器廠……可以生產電子顯微鏡、電子探針儀，許多相當先進的科學儀器我們都能夠自己生產出來，武裝我們各研究所，還供應國內其他一些單位，水平很高。”

可以說，中科科儀誕生于國家需要之時，在當時“一窮二白”的特殊歷史時期，為國家做出了許多重要的貢獻。回顧科儀的發展歷程，正是科儀人為中國科學儀器事業發展的奮斗史。

1975年，中科科儀研制成功中國第一臺掃描電子顯微鏡，獲科學大會一等獎和中國科學院重大科技成果獎一等獎，“科儀廠掃描電鏡組”獲頒國務院總理親筆題詞的榮譽證書。

電子顯微鏡正是認識亞微米以及納米尺度微觀世界的重要工具，已經廣泛地應用到了自然科學的許多分支學科之中，并且極大推動了這些學科的發展。

1974年，中科院正式下達關于DX-3型掃描電子顯微鏡的試制任務至科儀廠。抱著“要做自己的電子顯微鏡”的信念，科儀廠于1975年研制成功我國首臺掃描電子顯微鏡，樣機通過了來自全國各地30多個單位，60多名代表的鑒定測試，分辨率優于10nm，主要指標達當時國際先進水平。

中國第一臺掃描電子顯微鏡——DX-3型掃描電鏡

1978年，中科科儀研制成功中國第一臺掃描式離子探針—LT-1型離子探針質譜微分析儀，獲中科院1978年度重大科技成果獎、科學大會獎。

離子探針質譜微分析儀（簡稱離子探針），是一種利用離子光學原理制成的大型精密科學儀器。它主要應用于表面微區薄層分析，是半導體集成電路、固體物理、表面科學、材料科學、環境科學、地球和空間科學等領域常用的分析手段。

離子探針起源于20世紀70年代，當時國際上多個國家在競爭性研制，中國科學院科學儀器廠早在1978年就研制成功了LT-1型離子探針質譜微分析儀，主要技術指標已達到了國外同類儀器水平。

（胡肇恒. "LT-1型離子探針質譜微分析儀." 物理 4(1978):233-239.）

中國第一臺掃描式離子探針

——LT-1型離子探針質譜微分析儀

1979年，中科科儀研制成功我國第一臺高分辨本領有機分析用質譜計算機聯用儀——ZHP-5質譜計，獲中科院1980年度重大科技成果一等獎。

有機分析質譜儀是一種用于生物學領域的分析儀器，廣泛用于有機化學、生物學、地球化學、核工業、材料科學、環境科學、醫學衛生、食品化學、石油化工等領域以及空間技術等方面。

1979年，中國科學院科學儀器廠最近試制成功了我國第一臺高分辨本領有機分析用質譜計算機聯用儀——ZHP-5質譜計。來自全國三十一個科研、生產和使用單位的四十名同行專家，對這臺儀器的各項技術指標進行了實測和鑒定。鑒定結果表明，該儀器的主要技術指標均超過原技術設計任務書的規定，進入國外同類儀器的行列。鑒定委員們認為，這臺大型精密分析儀器的試制成功，為我國的高分辨有機質譜儀器填補了空白，標志著我國在質譜儀器制造上跨進了一大步。

（柯服. "ZHP-5高分辨有機質譜計試制成功." 質譜 (1981).）

中國第一臺高分辨本領有機分析用

質譜計算機聯用儀——ZHP-5質譜計

1983年，中科科儀研制成功中國第一臺場離子顯微鏡—原子探針，獲中科院1986年度科學技術進步獎二等獎。

場離子顯微鏡原子探針是研究金屬、半導體材料微結構的一種大型精密分析儀器，它能直接分辨樣品表面上的單個原子并鑒定其成分。

1983年，在中國科學院沈陽分院院長郭可信教授領導下,中國科學院科學儀器廠研制成功中國第一臺場離子顯微鏡—原子探針，主要指標達到國際同類儀器的較好水平，填補了我國這一領域的空白，將我國金屬材料微結構研究工作提高到原子級水平。當時共同參與研發任務的還有中科院金屬研究所、沈陽科儀廠。

（群力. "場離子顯微鏡原子探針在我國首次研制成功." 質譜學報 04(1984):48-48.）

中國第一臺場離子顯微鏡—原子探針

六十余年的發展歷程中，中科科儀始終面向國家重大需求，走在國產科學儀器設備自主創新之路的最前沿。以一流電子光學和真空技術及多年科技成果轉化經驗，承擔多項國家重大科學儀器專項，研制出多項打破國外壟斷的首臺套科學儀器裝備與核心零部件，實現國內領域多項零的突破，為提高我國科學儀器設備的自主創新能力和自我裝備水平發揮了重要作用。

2012年，中科科儀研制成功我國首臺磁懸浮分子泵

磁懸浮分子泵是尖端科學儀器和關鍵工藝核心部件，是超高真空獲得設備，憑借持續高排氣能力、免維護、潔凈無油等特點，可廣泛應用于半導體制造、科研儀器、大科學裝置、國防科技和航空航天等領域，為科研、生產等環節提供必要的潔凈、超高真空環境。

2012年，中科科儀研制成功我國首臺磁懸浮分子泵，掌握完全知識產權，填補了國內空白，在多個半導體裝備頭部企業實現國產替代，助力解決集成電路裝備核心零部件“卡脖子”問題，為半導體產業鏈自主可控做出了貢獻。

半導體專用磁懸浮分子泵

2014年，中科科儀研制成功我國首臺場發射槍掃描電子顯微鏡

作為高端通用大型科學儀器，在納米量級觀測設備中，掃描電子顯微鏡與納米科技、分子生物學研究、半導體制造檢測技術等發展相互促進，是我國35項“卡脖子”技術之一。

2014年，中科科儀突破了多項技術壁壘，研制成功國內首創、具有自主知識產權的肖特基場發射槍掃描電子顯微鏡，分辨率優于1.0nm，達國際同類產品一流水平，打破了國外的技術和市場壟斷，已廣泛應用于材料、物理、化學、生命科學等領域，開展納米科技、半導體技術等方面的研究。

KYKY-EM8100型場發射槍掃描電子顯微鏡

一代人有一代人的奮斗，一個時代有一個時代的擔當。未來，中科科儀將始終牢記“創新科學儀器，發展一流企業”的初心使命，以嶄新的面貌不斷強化核心技術攻關，解決高端儀器裝備的“卡脖子”和“空心化”問題，高質量引領重大科學儀器攻關及產業化發展，推動國產科學儀器關鍵科學技術領域再創新突破。