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主動減震臺/光學平臺

品牌：Herz

型號：TS-150

描述：TS-150主動隔振臺是一款緊湊型動態隔振系統，可用于抵消工作環境對高靈敏度精密設備產生的不必要振動，以提高精密設備的工作性能，使用簡便，具有優異的隔振性能及通用性。適用于各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡、白光干涉儀，光刻機，微納米結構和加工儀器！超低頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺，隔振臺，主動隔振臺，主動減振臺，主動防震臺，主動防振系統。

工作原理

TS 系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路消除隔振系統的機械共振。

產品亮點：

六個自由度全方位隔振

研究級壓電傳感技術

即插即用系統

LCD實時顯示（振動水平，重量分布等）

主動隔振性能突出

集成簡便

專注科研，無需安裝和維護

應用范圍：

原子力顯微鏡

干涉測量

輪廓測量

3D輪廓儀

表面輪廓儀

納米光子學

白光干涉儀

三維表面形貌分析儀

超景深顯微鏡

激光干涉儀

光鑷應用

超高速光通信

升級選項：

工作臺集成 （包括架子，監控器支架，鍵盤托盤等）

隔音箱集成 (如靜噪器，AEK-2002及定制隔音設備)

定制面板尺寸及材料 （通常為阻尼鋁板，面板可定制不銹鋼，鐵磁鋼，可打孔）

振動器集成（激勵源）

遠程顯示 （重量分布，內部電機調平，X/Y/Z軸振動水平，啟動/關閉組件，開關隔振臺）

遠程電源 （免受電磁噪音或熱量干擾）

技術參數：

型號：TS-150/LP ※可選：TS-150/LP/TP25

系統配置：完全整合

主動隔振范圍：頻率大致為 0.7 ～ 300 Hz (超過300 Hz為被動隔振)

幅度: 20 um (垂直和水平)

高度調節：自動

搬運或運輸期間鎖定：自動鎖定功能

隔振條件：可在前顯示屏上觀察到。可通過將示波器連接到后面板上的BNC 插座觀察8 軸振動狀態。

安裝板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm

整體尺寸 (大約)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm

負載能力(同等 /低重心）：150 kg（考慮到負載上的偏心重量，請在**負載能力80% 范圍內使用）

系統重量 (大約)：18 kg

輸入電壓：90 ～ 120 ＶAC， 200 ～ 240 VAC， 43-60 Hz

功耗：隔振期間** 10 W，負載調整期間** 20 W

溫度范圍：5 ℃ ～ 40 ℃

相對濕度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃），10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）

服務場所：僅用于室內

工作高度：高達2，000 m

選項1 TP25 安裝板: 鐵磁拉絲不銹鋼410 表面， 無漆，

M6-25 mm XY 矩陣鉆孔和螺孔，有效攻絲深度: 6 mm

選項 2 遙控盒

選項 3 內置減振功能的高剛性框架

隔振效果：

性能對比圖：AFM 的研究人員在兩種獨特條件下進行成像： 不含隔振系統和包含TS 系列隔振臺。當使用TS系列隔振臺搭載AFM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。