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主動消磁系統/電鏡屏蔽+SPICER CONSULTING

概述：

現今的高性能電子束儀器對變化的環境磁場非常敏感。當周遭的磁場改變時會使電子顯微鏡的電子束產生偏折并造成影像解析度或測量精度下降。SC22系統可降低環境交流磁場并恢復分辨率和精度。

SC22主動式消磁系統主要是由磁場控制器、一或兩個感測探頭及三軸向多芯的線圈組成，并安裝在電鏡房間內以產生反向磁場并改善外部磁場問題。

系統針對外部磁場變化為自動響應，響應時間小于100微秒。AC線路場（50/60 Hz）減 少50 x。

SC22無法消除電梯、火車和交通等直流電場 變化干擾源。若需要同時消除交流磁場與直 流磁場的話可以參考另一款SC24主動式消磁器。

?提供穩定磁場環境，保護電子束技術方面的 機臺不受影響

?針對環境全時段監控及主動消除交流電磁場

?低消耗高性能系統

?智能用戶界面自動設定系統

?在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz交流電場干擾

?包含全3軸（X，Y，Z）系統

?**能消除高達60 mG（6.0μT）的pk-pk 范圍

?針對外部磁場改變的瞬間反應時間為100微秒 以內

?具備USB連接埠選項提供監控

產品安裝：

SC22主動式消磁系統的線圈由一個完整回路和一段連接控制器的線路組成。完整回路創建一個區域的消除磁場，而另一段連接控制器的線路(此段沒有消除磁場的功能)則連接到磁場控制器。完整回路如上頁圖1所示，以1個紅色，綠色和藍色代表X、Y、Z軸。SC22線圈的X軸和Y軸完整回路長16米，Z軸回路則為20米長。若客戶端有個別需求，可以定制更長的線圈來解決。

上頁圖1的安裝適用于大多數SEM機臺，電子束柱通常距離房間墻壁1.5米。可以消除的**場域（動態范圍）取決于完整回路線圈的尺寸和相對于電子束柱的位置。使用5米的X軸和3米的Y軸完整回路以及距離壁1.5米的墻壁，動態范圍約為25 mG（2.5μT）pk-pk。

為了嚴謹地指出SC22主動式消磁器的表現，我們使用一個虛擬房間來顯現SC22安裝細節作為參考，如圖2中所示。電子束柱在3米×5米 X和Y軸完整回路（在電子束柱的上方和下方交叉）和5米×5米 Z軸完整回路的中心。第6頁的SC22規格適用于圖2的安裝方式。

這些被推薦使于配有Gatan成像濾光片（GIF）的TEM也可搭配雙回路尺寸的亥姆霍茲線圈。建議客戶咨詢Spicer Consulting技術支持人員，以設計出***客戶需求和安裝這些特殊線圈。

當房間過大或沒有局部墻壁在附件時，定制的框架可用于安裝亥姆霍茲線圈，如下頁圖3所示。但框架限制了機臺操作空間，因此只針對無法安裝線圈在房間的地方使用。安裝在框架的線圈消磁效能可能不如整間房間安裝線圈的設計。

產品規格

單位Gauss， Tesla， (switchable)

FIELD CANCELLING

Components cancelledX， Y， Z fields

外部動態**消磁能力 (X & Y)NOTE 1 60mG (6μ T) 峰峰值 (installation Fig. 2)

外部動態**消磁能力 (Z)NOTE 1 45mG (4.5μ T) 峰峰值 (installation Fig.

消磁因子 50 X at 50/60 Hz

帶寬 2.5 Hz - 5000Hz

系統1/f噪聲限制低于0.1Hz< 100 μG (10 nT) 峰峰值

系統寬帶噪聲限制1μG (100pT) RMS 5 Hz -20 kHz

磁場測量和監測系統

種類顯示屏幕 3.5英寸LCD TFT彩色面板

顯示測量值 X軸感測探頭

(每0.4秒更新一次) Y軸感測探頭 Z軸感測探頭

總向量磁場與感測探頭有關

測量帶寬5 Hz -20 kHz

可選讀數單位 mG RMS

mG pk-pk

μT RMS

μT pk-pk

nT RMS

nT pk-pk

顯示范圍（讀數） X， Y， Z pk-pk 0 - 40.000 mG (0 - 4.0000 μT) (0 -4000.0nT)

X， Y， Z RMS 0 - 20.000 mG (0 - 2.0000 μT) (0 - 2000.0 nT)

TOTAL pk-pk 0 - 69.282 mG (0 - 6.9282 μT) ( 0 - 6928.2 nT)

TOTAL RMS 0 - 34.641 mG (0 - 3.4641 μT) ( 0 - 3464.1 nT)

精確度 ± 1.0 % of reading ± 1μG (100 pT)

感測探頭寬帶噪聲限制1μG (100pT) RMS

磁場穩定指示燈 當 X & Y & Z軸磁場皆< 250 μG RMS，會顯示綠色OK指示燈

跳閘指示燈 如果X、Y、Z軸任一軸上的磁場>250μGRMS，跳閘指示燈會亮起，

如果磁場<250μGRMS，在60秒后跳閘指示燈會消失。

X，Y，Z軸即時磁場輸出

刻度1.0 V/mG (10V/μT)

范圍± 12 Volts

來源阻抗值10 k

連接頭 3 x BNC

帶寬5 Hz -20 kHz

電源 120/240V (+10% -20%) 50/60Hz