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TEBO----用于先進器件的清洗技術
智能兆聲波技術
使用便捷
精確控制
減少成本、保護環境
*多可配至12套清洗腔體, 產能可達375 片/小時
具有雙面清洗能力, *多可配至5種清洗藥液，工藝靈活
*多可以回收2種藥液
使用高溫IPA干燥技術
配備TEBO智能兆聲波組件
集成式藥液供給模塊，可供給DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等
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