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可配有溫和的氮氣霧化二流體清洗
可選配先進的空間交變相位移兆聲清洗技術
可配有背面軟刷清洗與邊緣刷洗
晶圓翻轉功能可依次進行背面與正面清洗
適用于超薄晶圓
4腔體8寸/12寸兼容刷洗設備可應用于晶圓封裝領域
8腔體12寸刷洗設備可應用于集成電路制造領域
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