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TFC-6500B品牌
碳方程產(chǎn)地
山西樣本
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TFC-6500B,微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)設(shè)備是***的 CVD 系統(tǒng)。針對用戶的具體要求設(shè)計和研制的一臺多用途、高穩(wěn)定中等壓強微 波等離子體(MPCVD)綜合設(shè)備。
產(chǎn)品特性
* 高純高真空不銹鋼腔體(無硅污染 )
★ 可95%功率高效穩(wěn)定運行
★可單次生產(chǎn)7*7 mm單晶毛坯21粒
★ 水冷卻腔體(無風(fēng)冷噪音)
★ 可均勻生產(chǎn)2 inc多晶
★ 產(chǎn)品凈度等級可達VVS級
*生長機臺可自動調(diào)節(jié)范圍達15MM
暫無數(shù)據(jù)!