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E3200 GaN缺陷檢測設(shè)備品牌
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E3200是針對(duì)GaN 功率器件和HB GaN LED應(yīng)用，可以檢測GaN襯底及PSS基GaN、Si基GaN 和SiC基GaN 等外延片的表面和熒光缺陷，*小檢測顆粒81nm。可以檢測并區(qū)分顆粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、劃傷（scratch）、污點(diǎn)（stain）、裂紋（crack）、PL 黑點(diǎn)、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及熒光缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測，具有高產(chǎn)能、檢測準(zhǔn)確和檢出率高的優(yōu)點(diǎn)。
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