上海奧法美嘉生物科技有限公司
已認證
上海奧法美嘉生物科技有限公司
已認證
TN-為什么購買AccuSizer顆粒計數系統
上海奧法美嘉生物科技有限公司 2023/11/10 | 閱讀:413
方案詳情:
為什么購買AccuSizer顆粒計數系統? 有太多理由讓您的下一個粒度分析儀選擇AccuSizer?系統 什么是ACCUSIZER系統 使用單顆粒光學傳感 (SPOS) 技術的顆粒計數器和粒度分析儀。具有多種配置可選,但所有系統都包括SPOS傳感器,脈沖高度分析儀(或計數器)和樣品流通池,用于通過傳感器傳輸樣品。許多樣品流通池自動將樣品稀釋至最佳濃度,以獲得最準確的結果。在多達 1024 個粒徑通道中報告粒徑分布信息。 圖 1. 0.5 – 10um之間區分6個粒徑峰 它不是什么? 這不是像激光衍射那樣需要RI等物理特性和復雜的反卷積算法的集成技術。粒子直接定量并一次計數一個,提供比光散射技術更準確和更高分辨率的結果。 這種技術的主要好處是什么? • 準確性 —直接測量每個顆粒 • 濃度 —出具準確的顆粒/mL 結果 • 分辨率 —無分布增寬 — 將多個峰與基線區分(圖1) — 檢測少量的尾部顆粒 圖2.LE400傳感器/計數器圖 在許多行業中,尾部顆粒檢測至關重要。如果主峰之外的幾個大顆粒對產品性能有害,為什么不使用對大顆粒計數(LPC)具有最高靈敏度的技術呢?AccuSizer SPOS系統在檢測少量尾部顆粒分布方面優于激光衍射。AccuSizer SPOS系統集成了許多獨特的技術,包括: • 自動稀釋、一步稀釋和多步稀釋。 • 傳感器技術 —消光+散射LE傳感器 —聚焦光束 FX Nano 傳感器,檢測下限低至 150 nm • 根據您的流程定制的在線系統(AccuSizer Mini FX系統,圖3) 目前誰正在使用ACCUSIZER SPOS系統? AccuSizer SPOS系統是檢測CMP研磨液尾部顆粒的行業標準。制藥行業使用 AccuSizer 系統檢測脂肪乳中的大顆粒 (PFAT5)、USP<788>測試和蛋白質聚集研究。噴墨墨水等等,不勝枚舉,在全球范圍內的各行各業有數千臺安裝。 圖3. AccuSizer Mini FX系統。 ACCUSIZER SPOS 系統精確度? 創建粒度分布的最準確方法是單獨測量每個顆粒。AccuSizer系統對通過傳感器檢測區域的每個顆粒進行粒徑檢測和計數,并一次構建一個顆粒的分布。這將創建準確、高分辨率的結果。圖4顯示了通過45μm篩網的樣品。藍色的線是AccuSizer SPOS系統測試結果,其清楚地顯示了尾端斷崖式的分布,而紅色的線是激光衍射結果,其顯示了廣的粒徑分布曲線,包括不存在的>100μm的顆粒。 圖4.AccuSizer系統一次構建一個顆粒的分布,提供準確的結果。 一項針對微電子行業發表的研究1顯示了AccuSizer SPOS系統與其他技術相比,其靈敏度和分辨率的表現。在二氧化硅、氧化物CMP研磨液體中加入在1 μm SiO2顆粒,測試不同技術在識別出1 μm SiO2顆粒能力的表現。據報道,AccuSizer系統的檢測限為0.07 mg/mL,而激光衍射技術的結果(C)為100 mg/mL,相差1428X(圖5)。 圖5.SiO2顆粒檢測研究。 顆粒濃度衍射分布 圖 6a.AccuSizer 系統對加標了CMP的測試結果。 粒度分布 圖 6b.激光衍射對加標CMP的測試結果。 在2013年進行的一項研究中,我們用1.36μm PSL標準品加標至二氧化硅CMP研磨液,以確定檢測到尾部大顆粒所需的濃度。當將 3.4 μL PSL 注入 250 mL 原液 CMP 研磨液中時,AccuSizer FX(POU) 系統可以檢測第二個群體峰(圖 6a)。2 圖6b顯示了采用激光衍射儀的方式首次檢測加標峰的數據,360 μL加標到4.3 mL原液CMP研磨液中。這表明SPOS和激光衍射法的檢測限差異為 615X。另外請注意,當激光衍射結果最終檢測到加標峰的存在時,它拓寬1.36μm PSL標準分布。 引用 1 Nichols, K., et. al., Perturbation Detection Analysis: A Method for Comparing Instruments That Can Measure the Presence of Large Particles in CMP Slurry, report published by BOC Edwards, Chaska, MN 2 Detecting Tails in CMP Slurries, Entegris, August 2019 https://www. entegris.com/content/dam/product-assets/accusizerspossystems/appnote-detecting-tails-cmp-slurries-10527.pdf 相關產品 更多
相關方案 更多
TN-CMP Slurry粒度檢測——SPOS技術對比LD技術
粒度檢測、半導體
2023-11-10
|
虛擬號將在 秒后失效
使用微信掃碼撥號