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上海奧法美嘉生物科技有限公司
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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業中，如果不使用復雜的監測和控制來確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。
我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀允許定量化學濃度。全在線化學監測能夠實時校正溶液成分，從而穩定控制工藝條件、保持產品的一致性。
監控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產品的產量。可能影響產品質量的變化在檢測時會立即顯現出來，并在產品質量受損之前迅速糾正。
產品選項
? 多個樣本點
? 額外的5 mL數字滴定管
? 附加傳感器
? 安全聯鎖裝置
? 試劑低液位檢測
優勢
? 增加工具產量
? 降低化學品成本
? 實時過程監控
? 降低批量損失
? 降低所有者成本
應用
? 銅化學機械拋光
? 鎢化學機械拋光
? 濕法蝕刻
? 清潔
? DSP+
? 氮化物蝕刻
? PAN蝕刻
? 食人魚蝕刻
? HF
產品特點
? 4個4-20 mA 模擬輸出
? 8個可編程繼電器
? 以太網和 RS232 串口
? 彩色觸摸屏
? 集成試劑儲存
? 單采樣點
? 1個5mL數顯滴定管
? 多個傳感器輸入
規格
| 分析方法 | 電位法/標準加入法/光度法 |
| 精確度1 | ±0.2%顯示值 |
| 誤差度1 | 0.2%相對誤差 |
| 測量時間 | 少于5分鐘/分析(取決于應用) |
| 校準頻率 | 自開始起2 |
| 樣品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
| 樣品量 | 0.05 至 5 mL（取決于應用） |
| 樣品溫度 | 低于93℃(200℉) |
| 耗水量 | 少于1000mL/次 |
| 樣品入口/返回 | 小于30 psi |
| 0.5升/分鐘 | |
| 1/4”外徑擴口接頭 | |
| 1”FPT 密封聯軸器 | |
| 去離子水 | 20-40 psi |
| 2升/分鐘 | |
| 1/4”外徑擴口接頭 | |
| CDA | 60-80 psi |
| 1/4”外徑快速接頭 | |
| 過程排放 | 3/4”NPT 重力排放 |
| 機箱排水 | 1/2”NPT 重力排放 |
| 電源 | 110 /220 VAC，50 /60 Hz，1 /0.5A 現場可切換 |
| 排水 | 1 7 /8” OD @ 17 CFM |
| 外形尺寸 | 39.00”H x 27.00”W x 16.00”D |
1僅指“硬件”。應用、化學和工藝條件等外部因素會影響系統準確度和精密度。
2這不包括 pH 傳感器的校準。有關詳細信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數據是真實的，所表達的意見是合格專家對所進行測試的結果的看法，這些數據不應被視為 Entegris 承擔法律責任的保證或陳述。提供的數據僅供考慮、調查和驗證。對這些數據和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯邦、州和當地的法律法規。所有規格如有更改，恕不另行通知。
規模大小
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀的工作原理介紹？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀的使用方法？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀多少錢一臺？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀使用的注意事項SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀的說明書有嗎？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀的操作規程有嗎？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀的報價含票含運費嗎？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀有現貨嗎？SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀包安裝嗎？相關產品
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企業名稱
上海奧法美嘉生物科技有限公司企業類型
有限責任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310115560134824G法人代表
劉月賓注冊地址
上海市閔行區新駿環路588號23幢402室成立日期
2010-08-09注冊資本
500萬(元)有效期限
2010-08-09 至 2030-08-08
經營范圍
從事生物科技、醫藥科技、計算機科技、系統集成科技領域內的技術開發、技術轉讓、技術咨詢、技術服務，儀器儀表、化工產品（除危險品）及中間體的研發，儀器儀表、電子產品的設計、生產、制造、維修服務，設備租賃，計算機維修，化工原料及產品（除危險化學品、監控化學品、煙花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化學品）、化妝品、日用品、五金交電、電氣設備、機械設備、電子產品、計算機、儀器儀表、實驗室儀器的銷售，房屋租賃，從事貨物及技術的進出口業務，商務信息咨詢，質檢技術服務，認證服務。【依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動】
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