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主要用于半導體行業,輸送各類液態前驅體生產材料至生產機臺;具有安全,可靠,不間斷供液,可對測漏,循環吹掃等子程序進行參數設置等特點;液體前驅體輸送系統作為完全國產化的設備,具有完全自主的知識產權,穩定生產和強大的技術團隊跟進售后服務的優勢。
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產品質量
售后服務
易用性
性價比
XRD系列晶向定位
CVD 真空化學氣相沉積設備
紅外快速退火爐系統
自動劃片機
DAGE4000多功能推拉力測試機
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