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碳膜去除設(shè)備 NE-550EX品牌
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產(chǎn)品圖片：
產(chǎn)品型號(hào)：
NE-550EX
產(chǎn)品介紹：
1. Various process experience
- Carbon for capping, SiC Trench, SiC VIA, SiC Mesa, etc.
2. Smooth surface and anisotropy etching
- Adopting ISM (Inductively Super Magnetron) source
3. System line-up
- NE-550 (1L/UL + 1 Process for carbon etching）
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