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快速高溫退火設備RTA RSA-06品牌
萬德思諾產地
天津樣本
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產品圖片：
產品型號:
RSA-06
產品介紹：
Ceramic， Metal Free的熱場設計
可以實現± 10℃以下（1500℃） 的面內溫度分布。
急加熱急冷卻的設計， 即使單片對應整體速度也很快
反應爐和冷卻室是分開存在， 加熱部可以保持均一高溫。 （**申請）
加熱部一直是高溫保持，綜合運轉成本會降低
本裝置為高真空對應（可以使用干泵+渦輪分子泵）
**可以對應2000℃。
我們將通過充分利用仿真軟件來建議**的熱場
基本規格（SPEC）
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