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URE-2000S/B 型紫外雙面光刻機
技術參數
。曝光面積：4 英寸
。曝光波長：365nm： 25mW/cm，405nm：20-40mW/cm2
。分辨力：1μm
。對準精度： ± 2μm（雙面，片厚 0.8mm） ± 0.8μm（單面）
。掩模尺寸： 3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：2 英寸、3 英寸、4 英寸，厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式：定時和定劑量
。調平接觸壓力通過傳感器保證重復
。數字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數 400 倍，光學+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍
。底面面對準：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍）
。掩模相對于樣片運動行程：
X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度
。膠厚：600 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：2°
。具有循環水冷卻系統
。汞燈功率：1000W（直流，進口）
外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬) x2000mm（高）
配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。1000 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗，長壽命型)；
。XYZ 汞燈調節臺
。冷卻風扇
。光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉動臺
。樣片調平機構，自動完成
。樣片調焦機構
。承片臺 3 個 （3 英寸、4 英寸，5 英寸）
。掩模夾 3 個 （2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡（可以選擇帶 CCD 型，目鏡和監視器可同時觀測）
。光源（配備品 2 只）、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）11
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD 光學系統
（4）底面 CCD 對準系統
。光源（配備品 2 只）、 電源
。成像光學系統(2 套)
。雙通道數據采集卡
。CCD（兩套）
（5）電控系統
。汞燈觸發電源(1000W 直流汞燈)
。單片機控制系統
。控制柜桌
。計算機系統（監視器配 21 英寸寬屏液晶）
（6）氣動系統
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀表
（7）其他附件
。無油靜音真空泵一臺
。無油靜音空壓機一臺
。恒溫循環水冷卻系統
。管道
暫無數據！
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