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URE-2000B 型紫外單面光刻機
1．技術參數
。曝光面積：100mmX100mm
。曝光波長：365nm
。分辨力：0.8μm（膠厚 2μm 的正膠）
。對準精度：± 0.6μm
。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：直徑 ± 15mm--± 100mm（各種不規則片）
厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)
。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性： 2.5%（±100mm 范圍）
。雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學**倍數 400 倍，光學+電子放大 800 倍物鏡 3 對：4 倍、10 倍、20 倍； 目鏡 3 對：10 倍、16 倍、20 倍
。調平接觸壓力通過傳感器保證重復
。數字設定對準間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口15
。掩模相對于樣片運動行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度
。**焦厚：600μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行度：1.2o
。曝光能量密度：>20mW/cm
。汞燈功率：1000W（直流，進口）
2．外形尺寸：1400mm（長）?1200mm(寬) ?1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。XYZ 汞燈調節臺
。冷卻風扇
。1000W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準工件臺
。掩模樣片整體運動臺
。掩模樣片相對運動臺
。轉動臺
。樣片調平機構，自動完成
。樣片自動調焦機構
。承片臺 4 個（?15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。基片抽拉式上下機構
（3）對準顯微鏡及 CCD 對準系統
。光源、電源
。雙目雙視場對準顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）
。CCD
。21 英寸液晶顯示器
（4）電控系統
。汞燈觸發電源(1000W 直流汞燈)16
。單片機控制系統
。控制柜桌
（5）氣動系統
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
。電磁閥驅動
。氣動儀
（6）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
。空壓機一臺（靜音泵）
。管道
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